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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日：2023-12-27
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN118299242A
主分类号：H01J37/22
分类号：H01J37/22;H01J37/32
优先权：["20230105 JP 2023-000596"]
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开
摘要：本发明提供拍摄组件及其安装结构、基片处理装置和拍摄方法。拍摄组件经由设置在腔室的壁部的窗部对腔室内进行拍摄，包括：设置在拍摄方向前方的拍摄部，其具有接收来自腔室内的光的受光部；和收纳拍摄部的壳体，壳体包括：呈筒状的外侧壳体部；配置在外侧壳体部内侧的呈筒状的内侧壳体部，拍摄部被收纳在内侧壳体部内侧，受光部从内侧壳体部向拍摄方向前方伸出；和在外侧壳体部的拍摄方向前方与受光部相对地设置的壳体窗部，壳体窗部至少一部分具有透光性，在外侧壳体部与内侧壳体部之间、内侧壳体部与壳体窗部之间、以及壳体窗部与受光部之间分别形成有间隙，各间隙彼此连通，作为供对拍摄部进行冷却的冷却气体通过的气体流路的一部分发挥作用。
主权项：1.一种拍摄组件，其用于经由设置在腔室的壁部的窗部对所述腔室内进行拍摄，所述拍摄组件的特征在于，包括：设置在所述拍摄组件的拍摄方向前方的拍摄部，其具有用于接收来自所述腔室内的光的受光部；和用于收纳所述拍摄部的壳体，所述壳体包括：呈筒状的外侧壳体部；配置在所述外侧壳体部的内侧的、呈筒状的内侧壳体部，所述拍摄部被收纳在所述内侧壳体部的内侧，且所述受光部从所述内侧壳体部向所述拍摄方向前方伸出；和在所述外侧壳体部的所述拍摄方向前方与所述受光部相对地设置的壳体窗部，该壳体窗部的至少一部分具有透光性，在所述外侧壳体部与所述内侧壳体部之间、所述内侧壳体部与所述壳体窗部之间、以及所述壳体窗部与所述受光部之间，分别形成有间隙，各个所述间隙彼此连通，从而作为供对所述拍摄部进行冷却的冷却气体通过的气体流路的一部分发挥作用。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 拍摄组件、拍摄组件安装结构、基片处理装置和拍摄方法
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