龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明提供一种基片处理装置，其包括：将保持基片的旋转台旋转驱动的机构；电加热器，其以与旋转台一起旋转的方式设置于旋转台，对载置于旋转台上的基片进行加热；受电电极，其以与旋转台一起旋转的方式设置于旋转台，且与电加热器电连接；供电电极，其通过与受电电极接触，来经由受电电极对电加热器供给驱动电功率；电极移动机构，其能够使供电电极与受电电极相对地接触和分离；对供电电极供给驱动电功率的供电部；包围旋转台的周围的处理杯状体；对基片供给处理液的至少1个处理液喷嘴；作为处理液至少将非电解镀覆液供给至处理液喷嘴的处理液供给机构；和控制电极移动机构、供电部、旋转驱动机构和处理液供给机构的控制部。
主权项：1.一种基片处理装置，其特征在于，包括：能够将基片以水平姿态保持的旋转台；使所述旋转台绕铅直轴线旋转的旋转驱动机构；电加热器，其以与所述旋转台一起旋转的方式设置于所述旋转台，对载置于所述旋转台上的所述基片进行加热；受电电极，其以与所述旋转台一起旋转的方式设置于所述旋转台，且与所述电加热器电连接；供电电极，其通过与所述受电电极接触，来经由所述受电电极对所述电加热器供给驱动电功率；电极移动机构，其能够使所述供电电极与所述受电电极相对地接触和分离；对所述供电电极供给所述驱动电功率的供电部；包围所述旋转台的周围且与排气配管和排液配管连接的处理杯状体；对所述基片供给处理液的至少1个处理液喷嘴；作为所述处理液至少将非电解镀覆液供给至所述处理液喷嘴的处理液供给机构；和控制所述电极移动机构、所述供电部、所述旋转驱动机构和所述处理液供给机构的控制部，连接所述供电电极与所述供电部的导电通路至少部分地由可挠性的电线形成，通过所述可挠性的电线构成为能够在保持所述受电电极与所述供电电极相接触的状态下使所述旋转台在规定的角度范围内旋转。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 基片处理装置和基片处理方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号