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申请/专利权人：福建睿创光电科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种基片清洁装置，包括清洗台，清洗台顶部分隔有第一清洁池、第二清洁池以及冲洗池；还包括承载器，承载器包括连接部以及用于放置基片的承载框，冲洗池位于第一清洁池与第二清洁池的外部均设有升降机构，升降机构用于连接连接部、且驱动连接部上下移动，本实用新型通过升降机构带动放置基片的承载框上下移动进行清洗、浸泡与取出动作，操作简单，避免在移动基片过程中划伤和污染基片。
主权项：1.一种基片清洁装置，其特征在于：包括清洗台（1），所述清洗台（1）顶部分隔有第一清洁池（2）、第二清洁池（3）以及冲洗池（4）；还包括承载器（6），承载器（6）包括连接部（61）以及用于放置基片的承载框（62），所述冲洗池（4）位于第一清洁池（2）与第二清洁池（3）的外部均设有升降机构，所述升降机构用于连接连接部（61）、且驱动连接部（61）上下移动。
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权利要求：
百度查询： 福建睿创光电科技有限公司 一种基片清洁装置
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