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一种新型单晶炉引晶温度自动系统控制方法 

申请/专利权人:乌海市京运通新材料科技有限公司

申请日:2024-01-29

公开(公告)日:2024-07-05

公开(公告)号:CN118292095A

主分类号:C30B15/20

分类号:C30B15/20

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开

摘要:本发明公开了一种新型单晶炉引晶温度自动系统控制方法,具体涉及单晶引晶控制技术领域,该控制方法是基于单晶炉引晶温度自动系统中进行建立,包括步骤一、设置4‑5个不同的拉速区间;步骤二、根据拉速区间设定4‑5个降温量调整引晶温度;步骤三、增加引晶长度启动降温功能;步骤四、根据所述引晶拉速区间对实际引晶拉速做出判断;步骤五、对目前不符合标准的功率进行微调整。本发明能够根据对单晶引晶的长度和拉速进行判断,当实际拉速符合系统设置的某个所述拉速区间,就启动该区间降温量,并进入下一步放肩工步,对目前不符合标准的功率进行微调整,从而能够自动控制引晶温度的目的,提升放肩成活率,提高产线效率。

主权项:1.一种新型单晶炉引晶温度自动系统控制方法,其特征在于:该控制方法是基于单晶炉引晶温度自动系统中进行建立,具体包括以下步骤:步骤一、单晶炉引晶过程中,在温度自动系统中设置4-5个不同的拉速区间,其中每个拉速区间对应一个单晶炉引晶的特定温度控制;步骤二、当引晶过程进入不同的拉速区间时,温度自动系统根据拉速区间设定4-5个降温量调整引晶温度,在不同拉速区间内对引晶温度的精确控制;步骤三、根据引晶拉速设定好降温量后,在系统中增加引晶长度启动降温功能,当引晶长度达到设定长度且拉速在符合条件区间时,进行自动降温,降温完成后系统进入下一步放肩工步;步骤四、在单晶炉引晶过程中,系统根据所述引晶拉速区间对实际引晶拉速做出判断,当实际拉速符合系统设置的某个所述拉速区间,就启动该区间降温量;步骤五、当系统进入下一工步前,对目前不符合标准的功率进行微调整。

全文数据:

权利要求:

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