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申请/专利权人：西安芯晖检测技术有限公司
摘要：本实用新型公开了晶圆表面图像获取设备和晶圆检测系统，所述晶圆表面图像获取设备包括：多个保持组件，所述多个保持组件中的每个保持组件设置成能够通过伸缩运动在第一状态与第二状态之间切换，其中，在所述第一状态，所述保持组件与晶圆接触，在所述第二状态，所述保持组件与所述晶圆分离；第一图像获取组件，所述第一图像获取组件用于获取所述晶圆的第一表面的图像；第二图像获取组件，所述第二图像获取组件用于获取所述晶圆的第二表面的图像；其中，所述多个保持组件设置成：在所述多个保持组件中的一部分保持组件处于所述第一状态以保持所述晶圆的同时，所述多个保持组件中的另一部分保持组件处于所述第二状态。
主权项：1.一种晶圆表面图像获取设备，其特征在于，所述晶圆表面图像获取设备包括：多个保持组件，所述多个保持组件中的每个保持组件设置成能够通过伸缩运动在第一状态与第二状态之间切换，其中，在所述第一状态，所述保持组件与晶圆接触，在所述第二状态，所述保持组件与所述晶圆分离；第一图像获取组件，所述第一图像获取组件用于获取所述晶圆的第一表面的图像；第二图像获取组件，所述第二图像获取组件用于获取所述晶圆的第二表面的图像；其中，所述多个保持组件设置成：在所述多个保持组件中的一部分保持组件处于所述第一状态以保持所述晶圆的同时，所述多个保持组件中的另一部分保持组件处于所述第二状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安芯晖检测技术有限公司 晶圆表面图像获取设备和晶圆检测系统
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