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申请/专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶棒截断机的支撑装置及晶棒截断机，所述晶棒截断机的支撑装置包括：承载机构，所述承载机构用于将晶棒承载成使得所述晶棒形成有相对于所述承载机构外悬的外悬节段；吸附机构，所述吸附机构用于当所述晶棒截断机截断所述晶棒的切缝形成在所述外悬节段中时对所述外悬节段的端部进行吸附，其中，所述外悬节段的端部呈锥状，所述吸附机构包括与所述外悬节段的端部相匹配的锥状的吸盘以贴合所述外悬节段的端部。能够避免在对晶棒进行截断的过程中，未切割完成处发生折断并由此导致崩边。
主权项：1.一种晶棒截断机的支撑装置，其特征在于，所述支撑装置包括：承载机构，所述承载机构用于将晶棒承载成使得所述晶棒形成有相对于所述承载机构外悬的外悬节段；吸附机构，所述吸附机构用于当所述晶棒截断机截断所述晶棒的切缝形成在所述外悬节段中时对所述外悬节段的端部进行吸附，其中，所述外悬节段的端部呈锥状，所述吸附机构包括与所述外悬节段的端部相匹配的锥状的吸盘以贴合所述外悬节段的端部。
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百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 西安奕斯伟硅片技术有限公司 一种晶棒截断机的支撑装置及晶棒截断机
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