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申请/专利权人：吉盛微(武汉)新材料科技有限公司
摘要：本实用新型涉及晶舟通用测量夹具，晶舟包括平行设置的两个圆盘，以及连接两个圆盘的三个连接杆，包括支撑板、两个连接块和两个定位块，两个连接块固定设于支撑板上，两个定位块分别与两个连接块可拆卸连接，两个定位块的顶部形成有用于与圆盘卡接的V形槽；将晶舟的两个圆盘分别放置于两个定位块上形成的V形槽中，以实现对于晶舟的固定，从而便于对晶舟进行测量，其中，定位块为石墨材料制成，可避免晶舟在测量的过程中被金属杂质污染，影响晶圆的高温退火过程，同时，由于定位块长期与晶舟接触，极易磨损甚至损坏，为此，通过设置定位块与连接块可拆卸连接，只需更换定位块即可，无需整体更换，节省成本。
主权项：1.晶舟通用测量夹具，晶舟包括平行设置的两个圆盘，以及连接两个圆盘的三个连接杆，其特征在于，包括支撑板、两个连接块和两个定位块；两个所述连接块固定设于所述支撑板上；两个所述定位块分别与两个所述连接块可拆卸连接，两个所述定位块的顶部形成有用于与圆盘卡接的V形槽。
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权利要求：
百度查询： 吉盛微(武汉)新材料科技有限公司 晶舟通用测量夹具
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