申请/专利权人：准懋(杭州)科技有限公司

申请日：2022-10-21

公开（公告）日：2024-07-02

公开（公告）号：CN117917547B

主分类号：G01C19/5621

分类号：G01C19/5621;G01C19/5656

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.07.02#授权;2024.05.10#实质审查的生效;2024.04.23#公开

摘要：公开了一种微机电陀螺，包括：第一音叉结构和第二音叉结构，第一音叉结构和第二音叉结构的结构相同，且对称排列；每个音叉结构包括：驱动单元；驱动‑检测单元，与驱动单元连接，在驱动单元的驱动下沿第一方向做简谐运动，并且在感应到第三方向的角速度时产生第二方向的运动，第一方向、第二方向和第三方向相互垂直；以及检测单元，与驱动‑检测单元连接，在驱动‑检测单元沿第二方向运动时与驱动‑检测单元一起沿第二方向运动；还包括抑制电极，抑制电极连接于每个音叉结构的驱动单元上。本发明的微机电陀螺，通过将抑制电极设置于驱动单元上，避免了抑制电极的静电力对微机电陀螺的检测模态频率的影响，同时降低了对检测信号的真实性的影响。

主权项：1.一种微机电陀螺，包括：第一音叉结构和第二音叉结构，所述第一音叉结构和所述第二音叉结构的结构相同，且对称排列；每个所述音叉结构包括：驱动单元；驱动-检测单元，与所述驱动单元连接，在所述驱动单元的驱动下沿第一方向做简谐运动，并且在感应到第三方向的角速度时产生第二方向的运动，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向相互垂直；以及检测单元，与所述驱动-检测单元连接，在所述驱动-检测单元沿所述第二方向运动时与所述驱动-检测单元一起沿所述第二方向运动；其中，还包括抑制电极，所述抑制电极连接于每个音叉结构的驱动单元上；所述驱动单元包括：固定驱动电极；可动驱动电极，与所述固定驱动电极相对，在与固定驱动电极的作用下沿第一方向做简谐运动；以及驱动质量块，与所述可动驱动电极固定连接，与所述可动驱动电极一起运动；所述抑制电极连接于所述驱动质量块上；还包括第一控制环路以及第二控制环路，所述抑制电极包括：第一抑制电极，与第一音叉结构连接；第二抑制电极，与第一音叉结构连接；第三抑制电极，与第二音叉结构连接；以及第四抑制电极，与第二音叉结构连接；所述第一控制环路分别与第一抑制电极和第二抑制电极连接，向第一抑制电极提供第一电压，以及向第二抑制电极提供第二电压，所述第一电压和所述第二电压幅值相同，相位相反；以及所述第二控制环路分别与第三抑制电极和第四抑制电极连接，向第三抑制电极提供第三电压，以及向第四抑制电极提供第四电压，所述第三电压和所述第四电压幅值相同，相位相反。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 准懋(杭州)科技有限公司 一种微机电陀螺

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