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申请/专利权人：北京信息科技大学
摘要：本发明公开了一种单热源“T”字型微机械双轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“T”字型结构的一个隔离电阻，三个加热器和两对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“T”字型凹槽；三个加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本发明采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。
主权项：1.一种单热源“T”字型微机械双轴薄膜陀螺，其特征在于，包括敏感层和盖板，其中，所述敏感层的上表面设置有呈“T”字型结构的一个隔离电阻，三个加热器，两对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“T”字型凹槽；定义所述“T”字型凹槽的两臂方向分别为X，Y方向，敏感层的高度方向为Z向；所述加热器和所述热敏电阻的放置方向均与X或Y方向平行或者垂直；两对热敏电阻两两相对设置，分别用于检测X轴，Y轴的角速度；检测X轴的一对热敏电阻放置于“T”字型结构的左侧，并与X方向平行，与Y方向垂直；检测Y轴的一对热敏电阻放置于“T”字型结构的右侧，并与Y方向平行，与X方向垂直；检测X轴的两个热敏电阻的中间设置一个所述隔离电阻，两侧各设置一个所述加热器；“T”字型结构中间位置设置一个所述加热器；三个加热器的通电方式为周期方波式通电，即加热器的一个工作周期包括脉冲电压激励时间与断电间隔时间；所述盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接；每个所述加热器均由相同频率的方波信号驱动，频率为18Hz，脉冲占空比为50%，加热器加热功率为70mW；所述“T”字型凹槽的外边沿大于上表面加热器和热敏电阻的外轮廓。
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权利要求：
百度查询： 北京信息科技大学 一种单热源“T”字型微机械双轴薄膜陀螺
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