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微机械振动开关与无人值守微系统 

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申请/专利权人:清华大学

摘要:本发明公开了一种微机械振动开关与无人值守微系统。该微机械振动开关包括基底、可动结构和保持结构,基底上设有触点,可动结构包括支架和质量块,支架设于基底上,质量块包括:本体层、导通层和磁性层,本体层与支架通过连接部相连,导通层设于本体层的朝向触点的一侧,磁性层设于本体层上,导通层具有与触点接触的闭合位置以及与触点分离开的断开位置;保持结构设于基底,保持结构能够与磁性层配合以使导通层保持在闭合位置,保持结构在通电时使导通层回到断开位置。根据本发明的微机械振动开关,不需要额外电源供电就可以保持闭合状态。

主权项:1.一种微机械振动开关,其特征在于,包括:基底10,所述基底10上设有触点11;可动结构,所述可动结构包括支架21和质量块22,所述支架21设于所述基底10上,所述质量块22包括:本体层221、导通层222和磁性层223,所述本体层221与所述支架21通过连接部23相连,所述导通层222设于所述本体层221的朝向所述触点11的一侧,所述磁性层223设于所述本体层221上,所述导通层222具有与所述触点11接触的闭合位置以及与所述触点11分离开的断开位置;保持结构30,所述保持结构30设于所述基底10,所述保持结构30能够与所述磁性层223配合以使所述导通层222保持在所述闭合位置,所述保持结构30还能够在通电时使所述导通层222回到所述断开位置;在所述质量块22受到的振动激励超过预设振动激励阈值时,所述导通层222与所述触点11接触,所述保持结构30使所述导通层222保持在所述闭合位置;所述保持结构30包括:永磁铁和电磁铁,所述导通层222与所述触点11接触时,所述永磁铁吸引所述磁性层223,所述电磁铁通电时产生与所述永磁铁的第一磁场反向的第二磁场,使所述导通层222与所述触点11分离;所述连接部23为悬臂梁,所述支架21在所述可动结构的外周围环绕所述可动结构;所述连接部23为螺旋形的悬臂梁,所述支架21连接所述连接部23的外端,所述可动结构连接所述连接部23的内端。

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