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申请/专利权人：朗美通经营有限责任公司
摘要：一种微机电系统MEMS设备可以包括：反射镜结构，从第一铰链和第二铰链悬挂，第一铰链和第二铰链被布置成使得反射镜结构能够围绕倾斜轴线倾斜。反射镜结构包括位于倾斜轴线的相反侧的第一促动器和第二促动器。MEMS设备可以包括固定电极，其联接到第一促动器，以基于施加到固定电极的固定电压，使反射镜结构围绕倾斜轴线在第一方向上倾斜。MEMS设备包括驱动电极，其联接到第二促动器，以基于施加到驱动电极的驱动电压，使反射镜结构围绕倾斜轴线在与第一方向相反的第二方向上倾斜。
主权项：1.一种微机电系统MEMS设备，包括:反射镜结构，从第一铰链和第二铰链悬挂，第一铰链和第二铰链被布置成使得反射镜结构能够围绕倾斜轴线倾斜，其中反射镜结构包括位于倾斜轴线的相反侧的第一促动器和第二促动器；驱动电极，联接到所述第二促动器；和固定电极，其联接到所述第一促动器，以在没有电压施加到驱动电极时使反射镜结构围绕倾斜轴线在第一方向上倾斜一固定的预倾斜角，该固定的预倾斜角基于非零预倾斜电压，该非零预倾斜电压包括施加到固定电极的固定电压，其中驱动电极配置为基于施加到驱动电极的驱动电压，使反射镜结构围绕倾斜轴线在与第一方向相反的第二方向上倾斜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗美通经营有限责任公司 用于使微机电系统反射镜倾斜的电极配置
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