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半导体封装方法及半导体封装结构 

申请/专利权人:矽磐微电子(重庆)有限公司

申请日:2021-06-29

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN113471086B

主分类号:H01L21/56

分类号:H01L21/56;H01L21/60;H01L25/16

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.28#授权;2021.10.26#实质审查的生效;2021.10.01#公开

摘要:本申请提供一种半导体封装方法及半导体封装结构。其中,半导体封装方法包括:在无源器件的正面设置基板层,无源器件的正面具有电性连接键,基板层中设有贯穿基板层相对两表面的基板层开口,基板层开口与电性连接键相对应;在裸片正面形成保护层,并在保护层上形成保护层开口;裸片正面设有焊垫,保护层开口与裸片正面的焊垫相对应;将无源器件和裸片间隔贴装于载板上;裸片的正面朝向载板,无源器件的正面朝向载板;形成包封层,包封层至少包封裸片和无源器件的侧面。通过预先在无源器件表面设置基板层,解决了部分无源器件锡端子面无法直接封装的技术难题,并且有利于保证无源器件的稳定性及可靠性。裸片正面的保护层有利于保护裸片。

主权项:1.一种半导体封装方法,其特征在于,其包括:在无源器件的正面设置基板层;所述无源器件的正面具有电性连接键,所述基板层中设有贯穿所述基板层相对两表面的基板层开口,所述基板层开口与所述电性连接键相对应;在裸片正面形成保护层,并在所述保护层上形成保护层开口;其中,所述裸片正面设有焊垫,所述保护层开口与所述裸片正面的焊垫相对应;将所述无源器件和所述裸片间隔贴装于载板上;其中,所述裸片的正面朝向所述载板,所述无源器件的正面朝向所述载板;形成包封层,所述包封层至少包封所述裸片和所述无源器件的侧面;所述在无源器件的正面设置基板层包括:提供基板;在基板的表面形成多个按照预设位置排布的无源器件的焊点;将多个无源器件分别对应焊接于不同焊点,形成无源器件组件;对所述无源器件组件的基板进行切分,形成正面设置有基板层的无源器件。

全文数据:

权利要求:

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