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申请/专利权人：中北大学
申请日：2022-03-31
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN114706165B
主分类号：G02B6/125
分类号：G02B6/125;G02B6/124;G02B6/122
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2022.07.22#实质审查的生效;2022.07.05#公开
摘要：本发明涉及集成硅基Y波导，具体是一种大带宽、低损耗的集成硅基Y波导。本发明解决了现有集成硅基Y波导带宽小、损耗高、加工误差敏感度高的问题。一种大带宽、低损耗的集成硅基Y波导，包括呈横向设置的主直波导段；主直波导段的右端延伸设置有左窄右宽的锥形波导段；锥形波导段的右端延伸设置有两个过渡直波导段，且两个过渡直波导段呈前后对称分布；两个过渡直波导段之间形成有耦合狭缝；两个过渡直波导段的右端各延伸设置有一个圆弧波导段，且两个圆弧波导段呈前后对称分布；耦合狭缝内填充有亚波长光栅，且亚波长光栅的各个栅条均呈纵向设置。本发明适用于光通信、光传感领域。
主权项：1.一种大带宽、低损耗的集成硅基Y波导，其特征在于：包括呈横向设置的主直波导段（1）；主直波导段（1）的右端延伸设置有左窄右宽的锥形波导段（2）；锥形波导段（2）的右端延伸设置有两个过渡直波导段（3），且两个过渡直波导段（3）呈前后对称分布；两个过渡直波导段（3）之间形成有耦合狭缝；两个过渡直波导段（3）的右端各延伸设置有一个圆弧波导段（4），且两个圆弧波导段（4）呈前后对称分布；耦合狭缝内填充有亚波长光栅，且亚波长光栅的各个栅条（5）均呈纵向设置；主直波导段（1）的厚度、锥形波导段（2）的厚度、两个过渡直波导段（3）的厚度、两个圆弧波导段（4）的厚度、亚波长光栅的厚度均一致；主直波导段（1）的宽度、锥形波导段（2）的左端宽度、两个过渡直波导段（3）的宽度、两个圆弧波导段（4）的宽度均一致；锥形波导段（2）的右端宽度等于两个过渡直波导段（3）的宽度与耦合狭缝的宽度之和。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中北大学 一种大带宽、低损耗的集成硅基Y波导
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