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申请/专利权人：芯知微(上海)电子科技有限公司
申请日：2019-11-11
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN112787613B
主分类号：H03H3/02
分类号：H03H3/02;H03H9/15
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权;2022.02.18#专利申请权的转移;2021.05.28#实质审查的生效;2021.05.11#公开
摘要：本发明提供一种薄膜压电声波谐振器及其制造方法，其中薄膜压电声波谐振器包括：从上至下依次叠层的第一电极、压电感应振荡片和第二电极；第一电极、压电感应振荡片和第二电极在垂直于压电感应振荡片表面的方向上设有重叠的区域；在重叠的区域内，压电感应振荡片与第一电极之间设有第一间隙；和或，压电感应振荡片与第二电极之间设有第二间隙。本发明的有益效果在于，解决了压电感应振荡片和上下电极接触界面存在残余应力和声波从电极中泄露的问题。
主权项：1.一种薄膜压电声波谐振器，其特征在于，包括：从上至下依次叠层的第一电极、压电感应振荡片和第二电极；所述第一电极、压电感应振荡片和第二电极在垂直于所述压电感应振荡片表面的方向上设有重叠的区域；在所述重叠的区域内，所述压电感应振荡片与所述第一电极之间设有第一间隙；和或，所述压电感应振荡片与所述第二电极之间设有第二间隙；所述第一电极和所述第二电极之间、所述压电感应振荡片的外周设有第一介质层，且所述压电感应振荡片的外周与所述第一介质层之间设有隔离空间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芯知微(上海)电子科技有限公司 一种薄膜压电声波谐振器及其制造方法
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