申请/专利权人:稳懋半导体股份有限公司
申请日:2023-07-04
公开(公告)日:2024-07-05
公开(公告)号:CN118300560A
主分类号:H03H9/02
分类号:H03H9/02
优先权:["20230103 US 18/149,371"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开
摘要:一种表面声波装置包括:衬底;交叉指型换能器电极的指部,设置于衬底上;交叉指型换能器电极的垫部,电连接至指部;以及线路电极,设置于垫部上。线路电极包括接触金属层和铝基层。接触金属层设置于垫部与铝基层之间。接触金属层包括铂、钯、或金。本发明可以改善表面声波装置的性能。
主权项:1.一种表面声波装置,其特征在于,包括:一衬底;一交叉指型换能器电极的一指部,设置于该衬底上;该交叉指型换能器电极的一垫部,电连接至该指部;以及一线路电极,设置于该垫部上,其中该线路电极包括一接触金属层和一铝基层,其中该接触金属层设置于该垫部与该铝基层之间,且该接触金属层包括铂、钯、或金。
全文数据:
权利要求:
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