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滤波器、多工器、射频前端模组及滤波器的制备方法 

申请/专利权人:锐石创芯(重庆)科技有限公司

申请日:2022-04-29

公开(公告)日:2024-07-05

公开(公告)号:CN117013985B

主分类号:H03H9/54

分类号:H03H9/54;H03H9/17;H03H9/205;H03H9/13;H03H9/02;H03H9/70;H03H3/04

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.07.05#授权;2023.11.24#实质审查的生效;2023.11.07#公开

摘要:本发明涉及一种滤波器、多工器、射频前端模组及滤波器的制备方法,该滤波器包括衬底、压电层、第一下电极、第二下电极、第一上电极、第二上电极、第一走线以及第一介质层;第一下电极和第二下电极均设于衬底的上表面;压电层覆盖第一下电极和第二下电极的上表面;第一上电极和第二上电极均设于压电层的上表面;第一走线位于压电层的上表面,第一走线在衬底上的正投影位于第一下电极与第二下电极之间,第一走线的一端连接第一上电极,另一端连接第二上电极;第一介质层的至少一部分位于第一走线与衬底之间。在本发明中通过在第一走线和衬底之间设置第一介质层,可以避免或者消弱第一走线与其他连接两个上电极的走线之间产生寄生电容。

主权项:1.一种滤波器,其特征在于,包括衬底、压电层、第一下电极、第二下电极、第一上电极、第二上电极、第一走线以及第一介质层;所述第一下电极和所述第二下电极分别设置于所述衬底的上表面;所述压电层覆盖所述第一下电极的上表面和所述第二下电极的上表面;所述第一上电极和所述第二上电极分别设置于所述压电层的上表面;所述第一走线位于所述压电层的上表面,所述第一走线在所述衬底上的正投影位于所述第一下电极与所述第二下电极之间,所述第一走线的一端连接所述第一上电极,所述第一走线的另一端连接所述第二上电极;所述第一介质层的至少一部分位于所述第一走线与所述衬底之间;所述第一介质层的介电常数小于所述压电层的介电常数。

全文数据:

权利要求:

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