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申请/专利权人：拜奥曼西欧有限公司
申请日：2022-08-24
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN118302956A
主分类号：H03H3/02
分类号：H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17
优先权：["20210825 FI 20215893"]
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开
摘要：根据一方面，提供一种用于薄膜体声谐振器的结构。所述结构包括：衬底101，包括腔104，所述腔104具有至少一个歪斜平坦表面103，所述至少一个歪斜平坦表面103朝向离开该腔的方向；和压电体材料层102，被沉积在所述至少一个歪斜平坦表面上。
主权项：1.一种用于薄膜体声谐振器的结构，包括：衬底，包括至少一个腔，所述至少一个腔具有至少一个歪斜平坦表面，其中所述至少一个歪斜平坦表面中的每个歪斜平坦表面至少部分地朝向离开对应腔的方向；和压电体材料层，至少沉积在所述至少一个歪斜平坦表面或其一部分上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拜奥曼西欧有限公司 剪切波模式压电谐振器
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