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摘要：一种硅片搬送手臂，包括板状的手臂本体，手臂本体的背面开设有沿长度方向延伸的凹槽，凹槽的一端的底部开设有若干个沿手臂本体的厚度方向延伸的吸口，且所有吸口贯通手臂本体的正面，凹槽的另一端的连通有若干第一连接槽，所述手臂本体上设置有与手臂本体相匹配的柔性贴膜，柔性贴膜贴合在手臂本体上将凹槽以及第一连接槽封闭形成吸气通道，柔性贴膜上设置有与所述第一连接槽相应的抽气孔，使得本实用新型手臂本体使用时不易脱落、更换简单并且成本较低。
主权项：1.一种硅片搬送手臂，包括板状的手臂本体1，手臂本体1的背面开设有沿长度方向延伸的凹槽，凹槽的一端的底部开设有若干个沿手臂本体1的厚度方向延伸的吸口305，且所有吸口305贯通手臂本体1的正面，凹槽的另一端的连通有若干第一连接槽304，其特征在于：所述手臂本体1上设置有与手臂本体1相匹配的柔性贴膜4，柔性贴膜4贴合在手臂本体1上将凹槽以及第一连接槽304封闭形成吸气通道3，柔性贴膜4上设置有与所述第一连接槽304相应的抽气孔403。
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百度查询： 麦斯克电子材料股份有限公司 一种硅片搬送手臂
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