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摘要：本发明实施例提供一种椭偏仪优化校准方法，方法包括：步骤1，选用任意厚度的标准样品作为待测样品，对每台椭偏仪进行系统校准，得到椭偏仪的系统参数，使每台椭偏仪可以进行正常的测量；步骤2，使用每台椭偏仪测量特定厚度和光学常数的样品进行角度标定和优化，保证每台椭偏仪的实际测量角度和理论角度一致；步骤3，使用每台椭偏仪测量已知厚度和光学常数的标准样品进行波长校准，拟合得到每台椭偏仪的波长修正系数；步骤4，重新对每台仪器进行系统校准，将波长修正系数写入系统模型，更新系统参数，完成多台椭偏仪的优化校准。本发明实施例通过对多台椭偏仪分别进行优化校准，提高多台椭偏仪的测量结果一致性。
主权项：1.一种椭偏仪优化校准方法，其特征在于，包括：步骤1，利用每一台待校准椭偏仪测量任意厚度的标准样品，对每一台待校准椭偏仪进行系统校准，获取每一台待校准椭偏仪的系统参数，使得校准后的每一台椭偏仪能够正常测量；步骤2，利用每一台待校准椭偏仪测量厚度和光学常数已知的样品，对每一台待校准椭偏仪进行角度标定和调整，使得每一台校准后的椭偏仪的实际测量角度和理论角度保持一致；步骤3，利用每一台待校准椭偏仪测量已知厚度和光学常数的标准样品，得到每一台待校准椭偏仪的波长修正系数，对每一台待校准椭偏仪进行波长校准；步骤4，重新对每一台待校准椭偏仪进行系统校准，将所述波长修正系数写入每一台椭偏仪系统模型，更新椭偏仪系统模型参数；所述利用每一台待校准椭偏仪测量已知厚度和光学常数的标准样品，得到每一台待校准椭偏仪的波长修正系数，对每一台待校准椭偏仪进行波长校准包括：利用标准椭偏仪测量两个样品的标准厚度d1、d2和标准光学常数N1、N2，d1和d2不同；根据两个样品的标准厚度d1、d2、标准光学常数N1、N2和理论入射角计算得到两个样品的理论椭偏参数和；利用每一台待校准椭偏仪测量两个样品，计算得到两个样品的实际测量椭偏参数和；根据测量的两个样品的实际测量椭偏参数和与理论椭偏参数和，对样品进行模型重构，得到每一台待校准椭偏仪的波长校正系数。
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百度查询： 武汉颐光科技有限公司 一种椭偏仪优化校准方法
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