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无界面材料及其制备方法、材料处理设备 

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摘要:本申请实施例涉及一种无界面材料及其制备方法、材料处理设备,包括:提供包括依次层叠的第一子层至第n子层的初始多层复合材料;采用强脉冲光子束对第一子层的表面进行辐照,产生的能量波通过第一子层传递至第i‑1子层与第i子层之间的界面处,以在第一子层至第i子层之间的相邻子层界面处分别形成扩散层;第i‑1子层和第i子层的材料分别为第一材料和第二材料的情况下,位于第i‑1子层和第i子层界面处的扩散层为第一材料和第二材料的原子和或分子相互扩散形成的扩散层;扩散层的厚度为10‑7m~10‑6m;强脉冲光子束的入射方向与第一子层所在平面之间具有第一入射角度,第一入射角度大于0°且小于或者等于90°。如此,可以降低无界面材料的残余应力。

主权项:1.一种无界面材料的制备方法,其特征在于,所述方法包括:提供初始多层复合材料,所述初始多层复合材料包括依次层叠的第一子层至第n子层,其中n大于或者等于2;采用强脉冲光子束对所述第一子层的表面进行辐照,产生的能量波通过所述第一子层传递至第i-1子层与第i子层之间的界面处,以在所述第一子层至所述第i子层之间的相邻子层界面处分别形成扩散层,其中i大于或者等于2且小于或者等于n;对于第i-1子层的材料为第一材料,第i子层的材料为第二材料的情况,位于所述第i-1子层和所述第i子层界面处的所述扩散层为所述第一材料和所述第二材料的原子和或分子相互扩散形成的扩散层;所述扩散层的厚度为10-7m~10-6m;所述强脉冲光子束的入射方向与所述第一子层所在平面之间具有第一入射角度,所述第一入射角度大于0°且小于或者等于90°。

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权利要求:

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