龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：描述了一种用于材料蒸发的组件。用于材料蒸发的所述组件包括：坩埚，所述坩埚被配置为容纳用于材料蒸发的材料；一个或多个网状结构，所述一个或多个网状结构设置在所述坩埚内部；和一个或多个线圈，所述一个或多个线圈被配置为提供感应能量，所述感应能量加热所述一个或多个网状结构以用于材料蒸发。
主权项：1.一种用于材料蒸发的组件100，包括：坩埚110，所述坩埚被配置为容纳用于材料蒸发的材料；在所述坩埚内部的一个或多个电导体120和一个或多个网状结构130，其中所述一个或多个电导体120耦合到所述一个或多个网状结构130，以便将热传递到所述网状结构，并且其中所述一个或多个电导体是环；和一个或多个线圈140，所述一个或多个线圈被配置为提供感应能量，所述感应能量加热所述一个或多个网状结构以用于材料蒸发。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于材料蒸发的组件、真空沉积设备和用于材料蒸发的方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号