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摘要：本实用新型的边缘材料移除设备包括一基座、一旋转台、一移除装置及一视觉处理装置。旋转台设置在基座上，且用以承载及水平旋转一半导体结构，并包括一转轴中心。其中，半导体结构包括一支撑基板、一半导体层及一模封体。半导体层连接支撑基板的支撑面，模封体包覆半导体层及支撑基板。移除装置设置在基座上，且位于旋转台的相对位置，并用以移除部分半导体结构的模封体，以露出支撑基板的外周缘。视觉处理装置设置在基座上，且位于旋转台的相对位置，并用以依据该外周缘的至少三位置，以获得支撑基板的基板圆心。
主权项：1.一种边缘材料移除设备，其特征在于，包括：一基座；一旋转台，设置在该基座上，且用以承载及水平旋转一半导体结构，并包括一转轴中心，其中，该半导体结构包括一支撑基板、一半导体层及一模封体，该支撑基板包括一外周缘、一支撑面及一基板圆心，该外周缘围绕形成该支撑面，该基板圆心是该支撑面的中心，该半导体层连接该支撑基板的支撑面，该模封体包覆该半导体层及该支撑基板；一移除装置，设置在该基座上，且位于旋转台的相对位置，并用以移除部分该半导体结构的模封体，以露出该支撑基板的外周缘；及一视觉处理装置，设置在该基座上，且位于该旋转台的相对位置，并用以依据该外周缘的至少三位置，以获得该支撑基板的基板圆心。
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百度查询： 东捷科技股份有限公司 边缘材料移除设备
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