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申请/专利权人：快速图像处理有限责任公司

摘要：用于检查电子零件的方法和装置，诸如半导体晶片、高密度电路板、多层基板、玻璃上铬掩模和补偿参考未对准的其他细线产品。当扫描5零件时，以亚相机像素、亚微米准确度沿着每个导体的整个长度实时执行导体线宽和间距测量。数十亿的计量测量也以亚微米准确度实时执行。描述了从计算机辅助设计（CAD）文件提取测量值的自学习自动化方法。该方法自动确定在定义的可允许制造容差内执行这些数十亿操作的位置。

主权项：1.一种用于创建零件光学测量值和参考数据测量公差的计算机实现的方法，其特征在于所述方法包括：a.通过使用计算机辅助设计CAD数据或通过组合一个或多个已知良好零件的扫描，生成参考数据，所述参考数据用于生成用于检查零件的参数，b.在参考数据中，在待检查的一个或多个特征的每一个周围创建一个或多个容差带，使得当扫描可接受容差的零件进行检查时，每个扫描的特征落入由参考数据中对应容差带定义的容差带内，c.在参考数据中沿着每个特征的周界定位边缘像素，d.对于这样定位的每个边缘像素，创建从边缘像素起源并指向特征的相对侧的测量向量，所述向量垂直于周界或相对于周界成预定角度定向，从而也指示边缘定向，并且其向量长度是到特征的相对侧上的边缘像素的距离，e.存储代表每个测量向量的向量长度、向量定向、起始边缘像素和结束边缘像素坐标的信息，存储的信息定义了当随后检查零件时要用于定位特征边缘的测量位置，f.定义线性搜索范围，用于当随后检查零件时定位每个测量向量的每个起始和结束边缘像素，i.其中每个线性搜索范围具有定向在与其对应的测量向量的相同角度定向上的搜索轴，ii.在沿着远离每个边缘像素延伸的搜索轴的一个方向上的搜索限制，其中所述方向上的限制延伸到或超出由与所述边缘像素最接近的容差带所定义的边界，以及iii.沿着搜索轴的另一个方向上的限制，对于相同的边缘像素，等于或大于位于特征另一侧上的沿着测量轴的边缘像素与其最近容差带之间的最近距离，g.为每个预期的起始边缘像素和结束边缘像素位置存储对应的搜索范围，h.将参考数据中的每个特征移动到其容差带内的所有位置，以及i.对于在每个先前存储的起始和结束像素测量位置处的特征的每个位置，在指定的搜索范围内搜索特征的边缘像素，以及i.当在特征上找到边缘像素时，A.计算测量向量的长度，作为从找到的边缘像素到特征相对侧上的边缘像素的长度，所述长度是在先前存储的测量角度下确定的，以及B.将与每个测量位置相关联的测量向量的计算长度存储为可允许的结果，以及C.当测量向量的长度超过最大可测量值时，将该结果的表示存储为可允许的结果，ii.当在特征上没有找到边缘像素时，将该结果的表示存储为可允许的结果，j.为每个空间固定的测量位置存储对应于特征在其容差带内的多个位置的最小和最大可允许向量尺寸及其可允许表示，k.创建存储参数的检查参数列表，用于检查由参考数据定义的零件上的特征，所述列表包含每个测量向量的信息，所述信息代表：i.可允许的最小和最大向量长度，或者向量长度的表示，其指示测量长度何时超过最大可测量值，或者没有找到边缘像素，ii.向量定向，iii.搜索范围，以及iv.起始边缘像素位置和结束边缘像素位置，l.修改在检查参数列表中的每个最小和最大可允许向量长度，以允许在零件检查期间可接受的过程变化，m.对于检查参数列表中的每个测量位置，通过以下从扫描的相机图像检查零件：i.在检查参数列表中指定的预期起始边缘像素和结束边缘像素位置周围的搜索范围内搜索特征的边缘，A.当在扫描的相机图像中找到边缘时，在检查参数列表中指定的测量角度下执行向量测量，B.当测量向量的长度超过最大可测量值时，存储该结果的表示，C.当在扫描的相机图像中没有找到边缘像素时，存储该结果的表示，ii.将向量测量长度与检查参数列表中指定的可允许最小和最大长度值或其可允许表示进行比较，以及iii.在检查参数列表中，小于可允许最小长度或其表示或大于可允许最大长度或其表示的向量长度被报告为缺陷。

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权利要求：

百度查询： 快速图像处理有限责任公司 零件检查期间对于参考未对准进行补偿