龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：润芯感知科技(南昌)有限公司;华润微电子控股有限公司
摘要：本申请提供一种晶圆对准装置和半导体设备，晶圆对准装置包括对位件、覆盖部和驱动装置，对位件设置于承载台的边缘，适于对准置于承载台上的晶圆的平边；覆盖部包围对位件的部分外周面；驱动装置传动连接对位件和覆盖部中的至少一者，驱动装置配置为：驱动覆盖部绕对位件的中心轴在第一位置和第二位置之间旋转切换，其中，当覆盖部位于第一位置时，覆盖部适于限位置于承载台上的具有第一平边的第一类型晶圆，当覆盖部位于第二位置时，对位件的部分外周面适于限位置于承载台上的具有第二平边的第二类型晶圆，第一平边的长度大于第二平边的长度。
主权项：1.一种晶圆对准装置，其特征在于，包括：对位件，设置于承载台的边缘，适于对准置于所述承载台上的晶圆的平边；覆盖部，所述覆盖部包围所述对位件的部分外周面；驱动装置，所述驱动装置传动连接所述对位件和所述覆盖部中的至少一者，所述驱动装置配置为：驱动所述覆盖部绕所述对位件的中心轴在第一位置和第二位置之间旋转切换，其中，当所述覆盖部位于所述第一位置时，所述覆盖部适于限位置于所述承载台上的具有第一平边的第一类型晶圆，当所述覆盖部位于所述第二位置时，所述对位件的部分外周面适于限位置于所述承载台上的具有第二平边的第二类型晶圆，所述第一平边的长度大于所述第二平边的长度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 润芯感知科技(南昌)有限公司 华润微电子控股有限公司 晶圆对准装置和半导体设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号