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申请/专利权人：富士胶片株式会社
摘要：本发明提供一种在用作显影液或冲洗液时，能够形成图案间隔的偏差得到抑制的抗蚀剂图案的药液、药液容纳体、抗蚀剂图案形成方法及半导体芯片的制造方法。本发明的药液含有乙酸正丁酯及乙酸异丁酯，所述药液中，相对于药液总质量，乙酸正丁酯的含量为99.000～99.999质量％，相对于药液总质量，乙酸异丁酯的含量为1.0～1000质量ppm。
主权项：1.一种药液，其含有乙酸正丁酯及乙酸异丁酯，所述药液中，相对于所述药液总质量，所述乙酸正丁酯的含量为99.000质量％～99.999质量％，相对于所述药液总质量，所述乙酸异丁酯的含量为1.0质量ppm～1000质量ppm，所述药液还含有乙酸戊酯类，相对于所述药液总质量，所述乙酸戊酯类的含量为1.0质量ppm～300质量ppm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 富士胶片株式会社 药液、药液容纳体、抗蚀剂图案形成方法、半导体芯片的制造方法
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