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申请/专利权人:三星电子株式会社
摘要:提供了一种图像传感器。所述图像传感器包括:基底,包括多个单元像素;堆叠结构,位于基底上;以及栅格图案,在堆叠结构上位于所述多个单元像素中的相邻单元像素之间。栅格图案包括下栅格图案和下栅格图案上的上栅格图案,下栅格图案包括氧化镧LaO、非晶硅a‑Si或多晶硅poly‑Si,上栅格图案包括导电材料。
主权项:1.一种图像传感器,所述图像传感器包括:基底,包括多个单元像素;堆叠结构,位于基底上;栅格图案,在堆叠结构上位于所述多个单元像素中的相邻单元像素之间;以及保护层,位于堆叠结构和栅格图案上,其中,栅格图案包括下栅格图案和下栅格图案上的上栅格图案,下栅格图案包括氧化镧、非晶硅或多晶硅,并且上栅格图案包括导电材料,其中,下栅格图案包括相对于上栅格图案具有蚀刻选择性的材料,其中,上栅格图案与堆叠结构的上表面间隔开,并且其中,保护层与下栅格图案的侧表面和上栅格图案的侧表面接触。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 三星电子株式会社 包括激光屏障图案的图像传感器
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