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申请/专利权人：迈为技术(珠海)有限公司
摘要：本实用新型公开一种光学对位装置及倒装芯片键合设备，涉及光学成像的技术领域，其中，光学对位装置包括第一光学组件以及第二光学组件，反射镜组设置在第一入射光路以及第二入射光路上，用于将第一入射光路中的入射光反射往第一方向，以及将第二入射光路中的入射光反射往第二方向，第一方向与第二方向相反。光学对位装置将第一光学组件以及第二光学组件设置为共同采用反射镜组，以使反射镜组能够同时对第一光学组件以及第二光学组件中所形成的光路以及相机的成像进行调整，通过提高光路结构的集成度让键合目标识别精度也得以提高，同时也能够有效缩键合目标的键合行程，最终提升工艺流程精度。
主权项：1.一种光学对位装置，其特征在于，包括：第一光学组件10，其用于分别形成第一入射光路11以及第一成像光路12，所述第一成像光路12的末端设置第一相机20；以及第二光学组件30，其用于分别形成第二入射光路31以及第二成像光路32，所述第二成像光路32的末端设置第二相机40；反射镜组50，设置在所述第一入射光路11以及所述第二入射光路31上，用于将所述第一入射光路11中的入射光反射往第一方向，以及将所述第二入射光路31中的入射光反射往第二方向，所述第一方向和所述第二方向相反。
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权利要求：
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