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申请/专利权人：上海新傲芯翼科技有限公司
摘要：本发明提供了一种键合晶圆的制备方法，包括：提供器件晶圆和支撑晶圆，器件晶圆的表面形成有氧化层；对器件晶圆执行离子注入工艺；将器件晶圆离子注入后的一侧和支撑晶圆进行键合，键合后进行剥离处理以形成键合晶圆；对键合晶圆执行热处理工艺，在执行热处理工艺时，分别从键合晶圆的正面和背面通入气体，且键合晶圆处于旋转状态，键合晶圆正面的气体流量和键合晶圆背面的气体流量的比例为X，键合晶圆的旋转速率的取值为Y，Y和X的关系为：Y＝aX+b；其中，a和b为拟合系数，20a30，10b20。本发明能够减少键合晶圆的边缘滑移线的产生，并且利于提高键合晶圆的平坦度。
主权项：1.一种键合晶圆的制备方法，其特征在于，包括：提供器件晶圆和支撑晶圆，所述器件晶圆的表面形成有氧化层；对所述器件晶圆执行离子注入工艺；将所述器件晶圆离子注入后的一侧和所述支撑晶圆进行键合，键合后进行剥离处理以形成键合晶圆；对所述键合晶圆执行热处理工艺，在执行所述热处理工艺时，分别从所述键合晶圆的正面和背面通入气体，且所述键合晶圆处于旋转状态，所述键合晶圆正面的气体流量和所述键合晶圆背面的气体流量的比例为X，所述键合晶圆的旋转速率的取值为Y，Y和X的关系为：Y＝aX+b；其中，a和b为拟合系数，20a30，10b20。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海新傲芯翼科技有限公司 键合晶圆的制备方法
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