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申请/专利权人：苏州南智芯材科技有限公司
摘要：本发明涉及一种晶体裂纹探测装置、晶体生长炉及晶体裂纹探测方法。晶体裂纹探测装置，用于在晶体生长过程中探测裂纹位置，晶体裂纹探测装置包括：轴承，包括轴承内圈和轴承外圈，轴承内圈用于连接晶体生长炉的晶体提拉杆；固定盘，固定于轴承的轴承外圈上；超声波发生器，用于产生超声波信号，超声波发生器固定于固定盘的一侧；以及超声波接收器，用于接收裂纹反射的超声波信号并转换为电信号，超声波接收器固定于固定盘的另一侧。本发明的晶体裂纹探测装置能够在晶体生长过程中探测裂纹位置，从而可以及时止损，有利于成本控制。
主权项：1.一种晶体生长炉，其特征在于，包括晶体提拉杆和用于在晶体生长过程中探测裂纹位置的晶体裂纹探测装置；所述晶体裂纹探测装置包括：轴承，包括轴承内圈和轴承外圈，所述轴承内圈套设于晶体生长炉的晶体提拉杆的外侧；固定盘，固定于所述轴承的轴承外圈上；超声波发生器，用于产生超声波信号，所述超声波发生器固定于所述固定盘的一侧；以及超声波接收器，用于接收裂纹反射的超声波信号并转换为电信号，所述超声波接收器固定于所述固定盘的另一侧；所述晶体裂纹探测装置还包括：外壳，包括壳体，所述壳体上设有进气口和出气口；所述轴承、所述固定盘、所述超声波发生器和所述超声波接收器位于所述外壳的内部；进气管，可拆卸固定连接于所述壳体的进气口上；以及出气管，可拆卸固定连接于所述壳体的出气口上；所述晶体裂纹探测装置还包括用于提供冷却气体的冷却系统，所述冷却系统与所述进气管固定连接；所述晶体裂纹探测装置还包括用于抽取所述外壳内部气体的抽气机，所述抽气机与所述出气管固定连接；所述晶体生长炉还包括生长炉体，所述晶体裂纹探测装置的所述外壳、所述轴承、所述固定盘、所述超声波发生器和所述超声波接收器均位于所述生长炉体的内部；所述晶体提拉杆转动时，带动所述轴承内圈转动，同时所述轴承外圈、所述固定盘、所述超声波发生器、所述超声波接收器、所述外壳、所述进气管和所述出气管保持固定位置。
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百度查询： 苏州南智芯材科技有限公司 晶体裂纹探测装置、晶体生长炉及晶体裂纹探测方法
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