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申请/专利权人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司
摘要：本发明涉及一种用于检查和加工物体的粒子束系统以及一种用于操作该粒子束系统的方法。该粒子束系统包括具有共同的工作区域53的电子束柱3和离子束柱5在该共同的工作区域中可以设置物体23，并且在该共同的工作区域中电子束柱3的主轴线55和离子束柱5的主轴线57在重合点58处相遇。进一步地，粒子束系统包括屏蔽电极61，该屏蔽电极可设置在离子束柱5的出口开口54与重合点58之间，所述屏蔽电极能够被设置成比电子束柱3更接近重合点58。
主权项：1.一种用于检查和加工物体23的粒子束系统1，其中该粒子束系统1包括：被配置用于产生电子束21的电子束柱3；被配置用于产生离子束51的离子束柱5，其中该电子束柱3和该离子束柱5具有共同的工作区域53，在该共同的工作区域中能够布置该物体23并且在该共同的工作区域中该电子束柱3的主轴线55和该离子束柱5的主轴线57在重合点58处相遇；以及屏蔽电极61，该屏蔽电极能够设置在第一位置，其中，当将该屏蔽电极61设置在该第一位置时，该屏蔽电极61定位为远离该电子束柱3的主轴线55且在该离子束柱5的出口开口54与该重合点58之间至少部分地围绕该离子束柱5的主轴线57，该离子束51能够从该出口开口朝着该共同的工作区域53从该离子束柱5中出射，并且其中屏蔽电极与重合点距离AKD比电子束柱与重合点距离EKD短，该屏蔽电极与重合点距离是设置在该第一位置的该屏蔽电极61与该重合点58之间的最短距离，该电子束柱与重合点距离是该电子束柱3与该重合点58之间的最短距离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 粒子束系统和用于操作粒子束系统的方法
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