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申请/专利权人：弗劳恩霍夫应用研究促进协会
摘要：本发明涉及一种MEMS，该MEMS包括基板，该基板具有在基板平面上方升高的基板延伸部。该MEMS包括可移动结构元件、将可移动结构元件机械地连接到基板延伸部的第一弹簧元件、以及将可移动结构元件机械地连接到基板延伸部的第二弹簧元件。第一弹簧元件和第二弹簧元件形成可移动结构元件相对于基板延伸部的平行四边形引导件。
主权项：1.一种MEMS，包括：基板12，所述基板12在基板平面14内延伸并且具有在所述基板平面14上方升高的基板延伸部16；可移动结构元件22；第一弹簧元件24，所述第一弹簧元件24将所述可移动结构元件22机械地连接到所述基板延伸部16；以及第二弹簧元件26，所述第二弹簧元件26将所述可移动结构元件22机械地连接到所述基板延伸部16；所述第一弹簧元件24和所述第二弹簧元件26提供所述可移动结构元件22相对于所述基板延伸部16的平行四边形引导件；其中，所述可移动结构元件22借助于所述平行四边形引导件在一侧被不对称地悬挂；其中，所述MEMS还包括致动器，所述致动器被配置为引起所述第一弹簧元件24和所述第二弹簧元件26的偏转，致动器包括静电驱动器44；其中，所述静电驱动器44包括至少一个基板电极和机械地连接到所述可移动结构元件22的可移动电极422，其中，施加在所述基板电极和所述可移动电极422之间的电压U引起所述可移动结构元件22偏转；并且其中，所述可移动电极422设置在第一弹簧平面32和第二弹簧平面34之间；或者其中，所述可移动电极422设置在所述第一弹簧平面32和所述基板12之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 包括可移动结构元件的MEMS和MEMS阵列
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