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申请/专利权人：KOA株式会社
摘要：载荷传感器元件具备：基板；以及无机层，具有承受载荷的受压面，并无机层被设置为覆盖基板的一面即表面的一部分。载荷传感器元件具备薄膜电阻体，该薄膜电阻体由电阻值根据无机层所承受的载荷而变化的电阻体构成。薄膜电阻体具有主体部以及作为两端部的一端部和另一端部，该主体部夹在基板与无机层之间，该两端部配置在未被无机层覆盖的基板的暴露部。载荷传感器元件具备第一温度补偿电阻体，该第一温度补偿电阻体独立于薄膜电阻体，并且配置在基板的一面即表面的暴露部。载荷传感器元件具备第二温度补偿电阻体，该第二温度补偿电阻体配置在基板的另一面即背面，并表现出与第一温度补偿电阻体相同的行为。
主权项：1.一种载荷传感器元件，用于测量表面压力载荷，所述载荷传感器元件具备：基板；无机层，具有承受载荷的受压面，并且所述无机层被设置为覆盖所述基板的一面的一部分；薄膜电阻体，是电阻值根据所述无机层所承受的载荷而变化的电阻体，并且具有主体部以及两端部，所述主体部夹在所述基板与所述无机层之间，所述两端部配置在未被所述无机层覆盖的所述基板的暴露部；第一温度补偿电阻体，独立于所述薄膜电阻体，并且配置在所述基板的一面的所述暴露部；以及第二温度补偿电阻体，配置在所述基板的另一面，并表现出与所述第一温度补偿电阻体相同的行为。
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