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申请/专利权人：西安电子科技大学
摘要：本发明涉及一种双模态MEMS谐振器驱动电路，属于微机电技术领域，通过准静态驱动控制反馈电路对双模态MEMS谐振器的输出信号进行相位补偿和干扰消除处理，并通过负反馈控制提高了在准静态的控制精度；再通过谐振态驱动幅值控制反馈电路和谐振态驱动频率锁定反馈电路分别提取双模态MEMS谐振器在谐振态的幅值与频率，并通过负反馈控制提高了在谐振态的工作稳定性。还通过乘法器和双模态驱动电路叠加合成准静态驱动信号和谐振器驱动信号，实现了驱动电路单输出同时驱动双模态MEMS谐振器在两个模态工作。最终使得双模态MEMS谐振器在以较高幅度工作的同时保证了其在准静态的控制精度以及在谐振态的工作稳定性。
主权项：1.一种双模态MEMS谐振器驱动电路，连接双模态MEMS谐振器200的输出端，所述双模态MEMS谐振器200分别输出准静态反馈信号和谐振态反馈信号，其特征在于，包括：反馈放大电路1，分别输入所述准静态反馈信号和所述谐振态反馈信号，用于分别差分放大所述准静态反馈信号和所述谐振态反馈信号，对应得到准静态反馈放大信号和谐振态反馈放大信号；准静态驱动控制反馈电路2，输入所述准静态反馈放大信号，用于对所述准静态反馈放大信号进行相位补偿和干扰消除处理，得到准静态驱动信号；谐振态驱动幅值控制反馈电路3，输入所述谐振态反馈放大信号，用于提取所述谐振态反馈放大信号的幅值，得到谐振态幅值误差反馈信号，以控制所述双模态MEMS谐振器200在谐振态的谐振幅值；谐振态驱动频率锁定反馈电路4，输入谐振态反馈放大信号，用于锁定所述谐振态反馈放大信号的频率和相位，得到谐振态频率驱动信号，以控制所述双模态MEMS谐振器200在谐振态的谐振频率；乘法器5，分别输入所述谐振态幅值误差反馈信号和所述谐振态频率驱动信号，用于合成以得到谐振器驱动信号；双模态驱动电路6，分别输入所述准静态驱动信号和所述谐振器驱动信号，用于叠加所述准静态驱动信号和所述谐振器驱动信号，得到谐振器功率驱动信号以驱动所述双模态MEMS谐振器200在谐振态和准静态工作。
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百度查询： 西安电子科技大学 双模态MEMS谐振器驱动电路
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