首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

真空系统及化学气相沉积设备 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:京东方华灿光电(苏州)有限公司

摘要:本公开提供了一种真空系统及化学气相沉积设备,属于半导体制备设备领域。该真空系统,应用于化学气相沉积设备,真空系统包括缓冲罐、多个真空泵、多个腔体连接管路和多个蝶阀;多个真空泵分别与缓冲罐相连;多个腔体连接管路的第一端分别与缓冲罐相连,多个腔体连接管路的第二端用于连接化学气相沉积设备的反应腔,每个腔体连接管路上安装有蝶阀。本公开能够提高化学气相沉积设备的工作效率。

主权项:1.一种真空系统,其特征在于,应用于化学气相沉积设备,所述真空系统包括缓冲罐10、多个真空泵20、多个腔体连接管路30和多个蝶阀40;多个所述真空泵20分别与所述缓冲罐10相连;多个所述腔体连接管路30的第一端分别与所述缓冲罐10相连,多个所述腔体连接管路30的第二端分别与所述化学气相沉积设备的反应腔100连接,每个所述腔体连接管路30上安装有所述蝶阀40。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 京东方华灿光电(苏州)有限公司 真空系统及化学气相沉积设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。