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一种激光调频干涉仪相位测量误差校正方法、系统与设备 

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申请/专利权人:华中科技大学

摘要:本发明公开了一种激光调频干涉仪相位测量误差校正方法、系统与设备,涉及光电精密测量技术领域,包括步骤:获取激光调频干涉仪正交相位测量信号,并用标准椭圆方程表示;定义卡尔曼滤波中的变量,将方程离散化和归一化;根据归一化的标准椭圆方程获取卡尔曼滤波器的时间更新方程,以及测量噪声协方差和过程噪声协方差;获取相位测量更新方程;在椭圆的四个轴附近区域引入四个点进行迭代拟合;通过扫描激光温度使椭圆旋转进行初始化迭代,利用后验估计对正交相位测量信号进行校正。本发明根据正交信号特性和椭圆参数之间的转换关系实时校正正交信号的不等幅值和偏置,从而最终实现对相位测量非线性误差的校正。

主权项:1.一种激光调频干涉仪相位测量误差校正方法,其特征在于,包括如下步骤:获取激光调频干涉仪正交相位测量信号,以及对获得的正交相位测量信号使用标准椭圆方程进行表示;通过卡尔曼滤波器将标准椭圆方程离散化,并定义离散化后的状态向量;将所述状态向量输入卡尔曼滤波器中,获取关于状态向量的先验估计与上一时刻状态向量的后验估计,并获取先验估计与后验估计关系的时间更新方程;获取后验估计协方差,根据偏导数为零的后验估计协方差确定卡尔曼增益,并通过所述卡尔曼增益与时间更新方程获得当前时刻的相位测量更新方程;在利萨茹Lissajous椭圆的四个轴附近区域引入四个离散点进行迭代拟合,并通过扫描激光温度使Lissajous椭圆旋转进行初始化迭代,获得包含四个离散点的正交相位测量信号,并利用所述相位测量更新方程对包含四个离散点的正交相位测量信号进行校正。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 华中科技大学 一种激光调频干涉仪相位测量误差校正方法、系统与设备

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