龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：武汉新芯集成电路股份有限公司
摘要：本发明提供一种晶圆修边方法，包括：将晶圆送入修边机台的工作腔室并与转盘定位；利用第一刀盘对晶圆修边，修边完成后形成的台阶底部有残留；利用第二刀盘对晶圆再次修边，以去除残留；将再次修边后的晶圆移出工作腔室；至少将第一刀盘从工作腔室移出并进行修整。本发明完成一个晶圆的修边仅需一次进出工作腔室，只需一次晶圆与转盘定位，先利用第一刀盘对晶圆修边，再利用第二刀盘对晶圆再次修边，以去除残留，节省一次定位工艺，避免第二次进入工作腔室中时，晶圆与转盘易发生定位不准导致报警的问题。在同一工作腔室中，有效利用两个刀盘，先后完成修边，结束后至少将第一刀盘从工作腔室移出并进行修整，可大幅提升WPH以及降低工艺周期。
主权项：1.一种晶圆修边方法，其特征在于，包括：步骤S1、将晶圆送入修边机台的工作腔室并与转盘定位；将修整好的第一刀盘放进所述工作腔室中并装配在刀轴上，所述第一刀盘和第二刀盘相对位于所述转盘边缘的两侧；步骤S2、利用所述第一刀盘对所述晶圆修边，所述晶圆被修边完成后形成的台阶底部有残留；步骤S3、利用所述第二刀盘对所述晶圆再次修边，以去除所述残留；步骤S4、将再次修边后的所述晶圆移出所述工作腔室；步骤S5、至少将所述第一刀盘从所述工作腔室移出并进行研磨修整；重复上述所有步骤，完成下一晶圆的修边。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉新芯集成电路股份有限公司 晶圆修边方法及晶圆修边机台
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号