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申请/专利权人：上海朋熙半导体有限公司
摘要：本申请涉及信息技术领域，提供一种故障机台的查找方法、系统、设备、介质及产品。本申请的故障机台的查找方法包括：获取当前晶圆的刮伤线条信息和当前晶圆的物理中心坐标；基于当前晶圆的刮伤线条信息和当前晶圆的物理中心坐标，获取第一距离；其中，第一距离为当前晶圆的物理中心坐标到当前晶圆的刮伤线条的最近距离；基于第一距离，获取机械臂的预估半径；基于机械臂的预估半径，获取故障机台的地址信息；其中，故障机台的地址信息为一个或多个。通过上述配置方式，本申请能够提高查找故障机台的效率。
主权项：1.一种故障机台的查找方法，其特征在于，包括：获取当前晶圆的刮伤线条信息和所述当前晶圆的物理中心坐标；基于所述当前晶圆的刮伤线条信息和所述当前晶圆的物理中心坐标，获取第一距离；其中，所述第一距离为所述当前晶圆的物理中心坐标到所述当前晶圆的刮伤线条的最近距离；基于所述第一距离，获取机械臂的预估半径；基于所述机械臂的预估半径，获取故障机台的地址信息；其中，所述故障机台的地址信息为一个或多个。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海朋熙半导体有限公司 一种故障机台的查找方法、系统、设备、介质及产品
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