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申请/专利权人：无锡松煜科技有限公司
摘要：本发明公开了一种光伏N型TOPCon电池ALD钝化膜制造工艺，包括以下步骤：步骤S1，在工艺腔室内放入经湿法工序处理后的基体，在工艺腔室内形成真空恒温环境，目标温度为200‑300℃；步骤S2，在工艺腔室内循环通入O3气体，清除硅片表面的湿法残留并制备SiO2薄膜；步骤S3，在工艺腔室内通入H2O蒸汽，在SiO2表面沉积形成钝化界面；步骤S4，在工艺腔室内交替通入TMA和H2O蒸汽，生长出高钝化的Al2O3薄膜；步骤S5，吹扫破真空，完成工艺。本发明可有效的清除硅片表面的湿法残留，对提升电池Eta（转换效率）有明显作用。
主权项：1.一种光伏N型TOPCon电池ALD钝化膜制造工艺，其特征在于：包括以下步骤：步骤S1，在工艺腔室内放入经湿法工序处理后的基体，在工艺腔室内形成真空恒温环境，目标温度为200-300℃；步骤S2，在工艺腔室内循环通入O3气体，持续时间为30-200s，再通入N2吹扫，吹扫时间为0-100s，执行1-5个循环，清除硅片表面的湿法残留并制备SiO2薄膜；步骤S3，在工艺腔室内通入H2O蒸汽，持续时间为5-30s，再通入N2吹扫0-100s，在SiO2表面沉积形成钝化界面；步骤S4，在工艺腔室内交替通入TMA和H2O蒸汽，生长出高钝化的Al2O3薄膜；步骤S5，吹扫破真空，完成工艺。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡松煜科技有限公司 一种光伏N型TOPCon电池ALD钝化膜制造工艺
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