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申请/专利权人：默克专利股份有限公司;沃萨姆材料美国有限责任公司
摘要：本发明涉及具有磷基配体的金属例如，Cr、Mo及W羰基配合物，其具有改善即更高热稳定性及低熔点，含有该化合物的组合物及使用该化合物作为前体用于沉积含金属膜的方法。
主权项：1.一种化合物，其包含式I-A、式I-B及式I-C中的一者或多者：其中iM为Mo、W及Cr中之一，iiR2及R3各自独立地为未经取代的直链C1-C8烷基、未经取代的支链C3-C8烷基、直链或支链C2-C6亚烷基、C3-C8饱和环状烷基及C5-C8芳烃中之一，且iiix＝1、2、3、4或5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 默克专利股份有限公司 沃萨姆材料美国有限责任公司 用于CVD及ALD应用的具有磷基配体的金属羰基配合物
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