买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：中润新能源(徐州)有限公司

摘要：本发明公开了具体涉及一种TOPCon电池用镀膜设备及镀膜方法，属于太阳能电池生产设备技术领域，一种TOPCon电池用镀膜设备，包括：镀膜仓、上料台、供气系统、排气系统；镀膜仓内部固定安装有多组炉管，多组炉管内部均能够作为反应腔室进行镀膜；上料台位于镀膜仓的一侧，所述上料台上安装有推舟机构，所述推舟机构用于石墨舟的上下料。与现有技术相比，本发明通过在炉管内部安装能够多点同时抽气的上内置管和多点同时供气的下内置管，能够实现前反应气体快速完全排出以及新反应气体快速均匀通入，有效缩短三层膜的工艺时间，提高镀膜设备的工作效率，并能保障反应过程中反应气体的有序供给和废气的有序排出，使成膜均匀，提高镀膜设备的生产质量。

主权项：1.一种TOPCon电池用镀膜设备，其特征在于，包括：镀膜仓，内部固定安装有多组炉管，多组炉管内部均能够作为反应腔室进行镀膜；上料台，位于镀膜仓的一侧，所述上料台上安装有推舟机构，所述推舟机构用于石墨舟的上下料；多组所述炉管内部的上端均固定安装有上内置管，所述上内置管上固定安装有若干抽气头，若干所述抽气头能够同时自动开闭，从而使上内置管能够通过若干抽气头多点同时向外抽气；多组所述炉管内部的下端均固定安装有下内置管，所述下内置管上固定安装有若干供气头，若干所述供气头也能够同时自动开闭，从而使下内置管能够通过若干供气头多点同时向内供气；所述上内置管与下内置管在炉管内部相匹配，能够同时抽气和供气；供气系统，与多组所述下内置管相连接，用于通过多组下内置管向多组炉管内部供给反应气体；排气系统，与多组所述上内置管相连接，用于通过多组上内置管抽取多组炉管内部的废气；所述供气头包括固定在下内置管上的若干第一内管，若干第一内管外部套接有第一外管；所述第一内管的外壁上开设有出气口，且第一内管的外壁上设置有上凸台，所述第一外管的外壁上开设有多排出气孔，所述第一外管的内壁上开设有上凹槽；所述上凸台滑动嵌入上凹槽内部，所述出气口与出气孔相匹配；多排所述出气孔的朝向不同；所述抽气头包括固定在上内置管上的若干第二内管，若干第二内管外部套接有第二外管；所述第二内管外壁上开设有抽气口，且第二内管的外壁上设置有下凸台，所述第二外管的外壁上开设有多排抽气孔，所述第二外管的内壁上开设有下凹槽；所述下凸台滑动嵌入下凹槽内部，所述抽气口与抽气孔相匹配；多排所述抽气孔的朝向不同。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中润新能源(徐州)有限公司 一种TOPCon电池用镀膜设备及镀膜方法