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申请/专利权人：浙江富乐德石英科技有限公司
摘要：本发明属于ALD反应装置技术领域，尤其涉及一种ALD反应腔装置以及ALD镀膜设备，包括：机体，机体上设置有第一安装腔和第二安装腔，第一安装腔和第二安装腔之间设置有通道；反应机构，反应机构设置在第二安装腔内；抽真空机构，抽真空机构设置在机体上；输送机构，输送机构设置在第一安装腔内，并延伸到第二安装腔内；其中，第二安装腔一侧的壁面上设置有操作窗口，操作窗口连接有手套。
主权项：1.一种ALD反应腔装置以及ALD镀膜设备，其特征是，包括：机体1，所述的机体1上设置有第一安装腔2和第二安装腔3，所述的第一安装腔2和第二安装腔3之间设置有通道4；反应机构5，所述的反应机构5设置在第二安装腔3内；抽真空机构6，所述的抽真空机构6设置在机体1上；输送机构，所述的输送机构设置在第一安装腔2内，并延伸到第二安装腔3内；其中，所述的第二安装腔3一侧的壁面上设置有操作窗口31，所述的操作窗口31连接有手套32。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江富乐德石英科技有限公司 一种ALD反应腔装置及ALD镀膜设备
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