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申请/专利权人：上海裕达实业有限公司
摘要：本发明提供了一种涉及航天器真空环境下的可凝污染物沉积量测量领域的测量晶片及其晶片温度可测的石英晶体微量天平，包括：第一金属A极、第二金属、第一金属B极以及热电偶结，第一金属A极和第二金属分别沉积于测量晶片的一侧，且第一金属A极和第二金属交界处形成热电偶结，所以第一金属B极设于测量晶片的另一侧；热电偶结产生热电势，且热电势与温度保持对应关系，通过热电偶结的热电势反推出温度值，实现热电偶结的温度测量。本发明通过在晶片的一侧沉积两种金属构成了1对热电偶结，而具有热电偶测温功能，实现了晶片温度的直接测量，可有效识别出晶片温度，提升了晶片的测温和控温功能，从而使天平的测量更为精确。
主权项：1.一种测量晶片1，其特征在于，包括：第一金属A极101、第二金属102、第一金属B极103以及热电偶结107，所述第一金属A极101和所述第二金属102分别沉积于测量晶片的一侧，且所述第一金属A极101和所述第二金属102交界处形成所述热电偶结107，所以第一金属B极103设于测量晶片的另一侧；所述热电偶结107产生热电势，且热电势与温度保持对应关系，通过所述热电偶结107的热电势反推出温度值，实现所述热电偶结107的温度测量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海裕达实业有限公司 测量晶片及其晶片温度可测的石英晶体微量天平
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