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一种悬浮姿态可测可控式气浮轴承装置 

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申请/专利权人:中轴精控(广州)科技有限公司

摘要:本发明涉及气浮轴承技术领域,提供一种悬浮姿态可测可控式气浮轴承装置,包括基座、节流板、导轨和控制装置;节流板上设置有阵列微孔;基座具有储气道,储气道与阵列微孔连通;基座上设置有气压探测装置、主动式气压控制组件和多个激光测距传感器;气压探测装置用于获取储气道的气压信息;多个激光测距传感器面对阵列微孔,激光能穿过阵列微孔并照射到导轨的上表面,多个激光测距传感器用于获取其与导轨上表面之间的多个高度信息;控制装置用于根据气压信息和高度信息控制主动式气压控制组件;该悬浮姿态可测可控式气浮轴承装置可以主动精确控制气压和气流,从而保持稳定的气膜和悬浮高度;可以预测气浮面碰撞并调节局部气压,规避碰撞。

主权项:1.一种悬浮姿态可测可控式气浮轴承装置,其特征在于,包括:基座、节流板、导轨和控制装置;所述节流板位于所述基座和导轨之间,所述节流板与所述基座固定连接,所述节流板上设置有阵列微孔;所述基座具有储气道,所述储气道与所述阵列微孔连通;所述基座上设置有气压探测装置、主动式气压控制组件和多个激光测距传感器,所述气压探测装置、主动式气压控制组件和多个激光测距传感器均与所述控制装置电连接;所述气压探测装置用于获取所述储气道的气压信息;多个所述激光测距传感器面对所述阵列微孔,以使激光能穿过所述阵列微孔并照射到所述导轨的上表面,多个所述激光测距传感器用于获取其与所述导轨上表面之间的多个高度信息;所述控制装置用于根据所述气压信息和多个所述高度信息控制所述主动式气压控制组件,以调控所述基座和节流板的悬浮姿态和悬浮高度。

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