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申请/专利权人：安徽创谱仪器科技有限公司
摘要：本实用新型属于光学仪器技术领域，特别涉及一种位移调节装置，用于安装光学元器件的位移安装板容置于真空腔体内部，连杆的一端与位移安装板固定连接，另一端与六轴位移台的中心平台固定连接，位移安装板与中心平台构成同步位移配合；真空腔体的腔壁上开设有供连杆穿置通过的过孔，过孔的孔径大于连杆的外径，过孔的外孔沿通过波纹管与中心平台密封连接。本实用新型通过将位移驱动机构外置，并应用连杆过渡连接六轴位移台与位移安装板，能够在维持小体积真空腔的同时实现对位移安装板的高精度调节，在降低光学仪器生产及使用成本的同时保证仪器检测精度。
主权项：1.一种位移调节装置，其特征在于：用于安装光学元器件的位移安装板11容置于真空腔体10内部，连杆12的一端与位移安装板11固定连接，另一端与六轴位移台20的中心平台21固定连接，位移安装板11与中心平台21构成同步位移配合；真空腔体10的腔壁上开设有供连杆12穿置通过的过孔13，过孔13的孔径大于连杆12的外径，过孔13的外孔沿通过波纹管14与中心平台21密封连接。
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百度查询： 安徽创谱仪器科技有限公司 位移调节装置
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