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申请/专利权人：株式会社基恩士

申请日：2020-02-05

公开（公告）日：2024-10-11

公开（公告）号：CN111551130B

专利技术分类：..通过在物体上投影一个图形，例如莫尔（moiré）条纹（G01B11/255优先）[2006.01]

专利摘要：提供一种检查装置，其在实现小型化的同时容易准确地掌握测量对象的形状和表面状态。从光源111～113发射绿色光、蓝色光和红色光以生成白色光。白色光从图案生成部118反射，并使白色的多个结构光顺次投射到测量对象上。摄像部120接收从测量对象反射的光，并生成多个图案图像数据。基于多个图案图像数据生成高度数据。从光源111～113顺次发射绿色光、蓝色光和红色光，这些光从图案生成部118反射，并使绿色光的均匀光、蓝色光的均匀光和红色光的均匀光顺次投射到测量对象上。摄像部120接收测量对象反射的均匀光，并顺次生成多个纹理图像数据。将多个纹理图像数据合成，由此生成彩色纹理图像数据。

专利权项：1.一种检查装置，包括：多个照明部，其被配置为从相互不同的方向对测量对象发射光，所述多个照明部中的每个照明部包括多个光源和图案生成部，其中，所述多个光源被配置为设置成分别发射具有相互不同的波长的多个光，并且使所发射的多个光在预先设置的共同光路中行进，以及其中，所述图案生成部设置在所述共同光路上，并且被配置为接收在所述共同光路中行进的光，并基于所接收到的光来选择性地生成结构光和均匀光，以使所生成的结构光或均匀光在所述共同光路中行进并投射到所述测量对象上；光投射控制部，其被配置为使光从所述多个照明部中的至少一个照明部所包括的所述多个光源中的至少一个光源发射，控制所述多个光源和所述至少一个照明部所包括的所述图案生成部以使用从所述至少一个光源发射的光在相位偏移的同时生成多个结构光，并且控制所述多个光源和所述图案生成部以从所述多个光源顺次生成分别具有多个波长的多个均匀光；摄像部，其被配置为通过顺次接收从所述测量对象所反射的多个结构光来顺次生成用于表示所述测量对象的图像的多个图案图像数据，并且通过顺次接收从所述测量对象所反射的多个均匀光来顺次生成用于表示所述测量对象的图像的多个纹理图像数据；图像数据生成部，其被配置为基于由所述摄像部通过顺次接收从所述多个照明部中的每个照明部发射并从所述测量对象反射的多个结构光而生成的所述多个图案图像数据来生成用于表示分别与所述多个照明部中的每个照明部相对应的所生成的所述测量对象的高度图像的多个高度数据，通过将所述多个高度数据合成来生成合成高度数据，并且通过将由所述摄像部通过顺次接收从所述多个照明部中的每个照明部发射并从所述测量对象所反射的多个均匀光而生成的所述多个纹理图像数据合成来生成用于利用与多个波长相对应的多个颜色表示分别与所述多个照明部中的每个照明部相对应的所生成的所述测量对象的图像的多个彩色纹理图像数据，通过将所述多个彩色纹理图像数据合成来生成合成彩色纹理图像数据；以及检查部，其被配置为基于所述合成高度数据和所述合成彩色纹理图像数据来执行所述测量对象的检查。

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