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轴径向位移传感器及位移测量电路 

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申请/专利权人:苏州苏磁智能科技有限公司

摘要:本发明公开了一种轴径向位移传感器及位移测量电路,包括两个导磁体,每个导磁体包括磁芯和磁轭,磁芯与磁轭之间具有第一间隙;两个磁芯沿转子轴向设置,每个磁芯外均套设有感应线圈,两个磁芯外共同套设有激励线圈,激励线圈配置为检测转子的径向位移,且激励线圈的激励磁场经磁芯、转子和磁轭构成第一磁回路,两个感应线圈配置为检测转子的轴向位移,每个感应线圈的感应磁场经磁芯、转子、磁轭构成第二磁回路。该轴径向位移传感器便于与磁悬浮转台的定子集成在一起,借助磁悬浮转台转子的第一环缘,可透过真空腔体的腔壁检测转子的位置信息,该轴径向位移传感器灵敏度高,且能够减少位移传感器的数量及降低生产及安装成本。

主权项:1.一种轴径向位移传感器,其特征在于,包括两个导磁体(1),每个所述导磁体包括磁芯(11)和磁轭(12),所述磁芯与所述磁轭之间具有第一间隙(13);两个所述磁芯沿转子(2)轴向设置,每个所述磁芯外均套设有感应线圈(L2),两个所述磁芯外共同套设有激励线圈(L1),所述激励线圈配置为检测转子的径向位移,且所述激励线圈的激励磁场经所述磁芯、所述转子和所述磁轭构成第一磁回路,两个感应线圈配置为检测转子的轴向位移,每个感应线圈的感应磁场经所述磁芯、所述转子、所述磁轭构成第二磁回路。

全文数据:

权利要求:

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