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石英舟加工用翻转装置 

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申请/专利权人:浙江泓芯半导体有限公司

摘要:本实用新型公开的石英舟加工用翻转装置,包括底板,底板的上端两侧均固定连接有支撑柱,两个支撑柱的上端均固定连接有连接块,两个连接块相邻的一侧均固定连接有液压缸,两个液压缸远离连接块的一端均固定连接有第一电机,两个第一电机的输出端均固定连接有夹板;本实用新型将石英舟放置在吸盘上,第二电机带动齿条上下移动,从而将石英舟移动与第一夹块持平,通过液压缸带动夹板移动,同时转动螺纹杆改变第一夹块和第二夹块之间的距离,以夹持柱不同厚度的石英舟,第一电机带动夹板翻转实现石英舟的自动翻转。

主权项:1.石英舟加工用翻转装置,包括底板1,其特征在于:所述底板1的上端两侧均固定连接有支撑柱2,两个所述支撑柱2的上端均固定连接有连接块3,两个所述连接块3相邻的一侧均固定连接有液压缸4,两个所述液压缸4远离连接块3的一端均固定连接有第一电机5,两个所述第一电机5的输出端均固定连接有夹板6,两个所述夹板6远离第一电机5的一侧均固定连接有多个连接环7,多个所述连接环7的内部上端均固定连接有第一夹块8,两个所述夹板6的中间均转动连就有螺纹杆9,两个所述螺纹杆9上均螺纹连接有多个螺纹块10,多个所述螺纹块10远离第一电机5的一侧均固定连接有第二夹块11;所述底板1的上端位于两个支撑柱2的中间固定连接有第一支撑槽12和第二支撑槽121,所述第一支撑槽12的远离第二支撑槽121的一侧固定连接有支撑板13,所述支撑板13的上端固定连接有第二电机14,所述第二电机14的输出端固定连接有转轴15,所述第一支撑槽12和第二支撑槽121的上端内部均固定连接有限位块161,两个所述限位块161的上端均设有齿轮16,所述转轴15固定连接在两个齿轮16的内部,所述第一支撑槽12和第二支撑槽121的内部远离齿轮16的一侧均设有齿条17,两个所述齿条17的上端共同固定连接有第一置物板18,所述第一置物板18的上端中间固定连接有隔板19,所述隔板19的两侧均固定连接有两个第二置物板20,四个所述第二置物板20的上端均固定连接有两个对称设置的置物盘21。

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