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一种石英舟的固定载具 

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申请/专利权人:浙江泓芯半导体有限公司

摘要:本实用新型公开的一种石英舟的固定载具,包括载板、石英舟载具框和加固组件,载板上表面四角均开设有限位孔,载板上表面内部中心一端拆卸安装有石英舟载具框,石英舟载具框两端均开设有多组滑动槽,滑动槽内滑动安装有滑动块,滑动块另一端固定连接有连接板,连接板另一端设置有加固组件。本实用新型便于将载板固定在指定位置,提高固定石英舟时的稳固性,方便调节载板使用位置,通过载板上表面拆卸安装的石英舟载具框,方便将石英舟放置在石英舟载具框内,通过石英舟载具框两端均设置的加固组件对石英舟四角固定。

主权项:1.一种石英舟的固定载具,其特征在于:包括载板1、石英舟载具框3和加固组件5,所述载板1上表面四角均开设有限位孔2,所述载板1上表面内部中心一端拆卸安装有石英舟载具框3,所述石英舟载具框3两端均开设有多组滑动槽10,所述滑动槽10内滑动安装有滑动块11,所述滑动块11另一端固定连接有连接板4,所述连接板4另一端设置有加固组件5。

全文数据:

权利要求:

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