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离子分析装置 

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申请/专利权人:株式会社岛津制作所

摘要:本发明为控制离子的动向的离子分析装置1,具备:基材100,相对于离子流出口固定,具有筒状凹部101;第1导电部件153,是以一端露出的方式容纳于该凹部的筒状部件,在所述一端侧固定有第1离子流控制部14;筒状的绝缘部件152,内插于第1导电部件;第2导电部件151,是以一端露出的方式内插于绝缘部件的棒状部件,固定有第2离子流控制部13;第1供电部162,在第1导电部件容纳于凹部101的状态下设置于与第1导电部件接触的位置,被施加第1规定电压;第2供电部163,在容纳有第2导电部件及绝缘部件的第1导电部件容纳于凹部101的状态下,设置于与第2导电部件接触的位置,被施加第2规定电压。

主权项:1.一种离子分析装置,是控制从离子流出口流出的离子的动向的离子分析装置,其特征在于,具备:基材,相对于所述离子流出口固定,具有筒状的凹部;第1导电部件,具有导电性,是以一端露出的方式容纳于所述凹部的筒状的部件,在所述一端侧固定有用于控制所述离子的动向的第1离子流控制部;具有绝缘性的筒状的绝缘部件,内插于所述第1导电部件;第2导电部件,具有导电性,是以一端露出的方式内插于所述绝缘部件的棒状的部件,在所述一端侧固定有用于控制所述离子的动向的第2离子流控制部;第1供电部,是设置于所述基材的供电部,在所述第1导电部件容纳于所述凹部的状态下,设置于与所述第1导电部件接触的位置,被施加第1规定电压;第2供电部,是设置于所述基材的供电部,在容纳有所述第2导电部件及所述绝缘部件的所述第1导电部件容纳于所述凹部的状态下,设置于与所述第2导电部件接触的位置,被施加第2规定电压,所述第1离子流控制部及所述第2离子流控制部均为电极。

全文数据:

权利要求:

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