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申请/专利权人：爱奇迹创造有限公司
摘要：本申请公开了一种MEMS传感器和电子雾化装置，MEMS传感器包括衬底、基板、形变材料层、第一导电触点和第二导电触点；衬底具有相对的第一表面和第二表面；第一表面具有凹槽，第二表面具有惠斯通电桥电路，惠斯通电桥电路的桥臂包括压敏电阻；基板覆盖凹槽形成密封腔体；形变材料层设置于密封腔体内且位于凹槽的底壁上；其中，形变材料层被配置为能够在通电情况下发生形变，从而向凹槽的底壁施加靠近或远离基板的作用力。通过这样的方式，在衬底受到外界压力时，通过给形变材料层通电使其向凹槽的底壁施加与外界压力方向相反的作用力，使惠斯通电桥的桥臂的电阻值的呈线相关性较好，进而提高MEMS传感器的检测精度。
主权项：1.一种MEMS传感器，其特征在于，包括：衬底，具有相对的第一表面和第二表面；所述第一表面具有凹槽，所述第二表面具有惠斯通电桥电路，所述惠斯通电桥电路的桥臂包括压敏电阻；基板，覆盖所述凹槽形成密封腔体；形变材料层，设置于所述密封腔体内且位于所述凹槽的底壁上；第一导电触点和第二导电触点，间隔设置于所述衬底和或所述基板上，且分别与所述形变材料层电连接；其中，所述形变材料层被配置为能够在通电情况下发生形变，从而向所述凹槽的底壁施加靠近或远离所述基板的作用力。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 爱奇迹创造有限公司 MEMS传感器和电子雾化装置
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